I. Especificações de instalação

1. Instalação vertical
   O pressômetro capacitivo de vácuo deve ser instalado verticalmente para cima, para evitar que a placa móvel de pólo cause força desigual devido à inclinação e desencadeie erros de medição. Se a instalação é necessária em uma posição de vibração, a conexão da mangueira de vácuo é necessária para evitar que a vibração mecânica afete a estabilidade do capacitor.

2. Evite interferências no fluxo de ar
   A posição de instalação deve estar longe da área de turbulência ou turbulência no sistema de vácuo, evitando que o impacto do fluxo de ar cause vibrações de película fina que afetem a precisão da medição. Por exemplo, em equipamentos de revestimento a vácuo, o pressômetro deve ser instalado na câmara principal que estabiliza o fluxo de ar, em vez de perto da abertura de bombeamento.

3. Inspeção de vedação
   Verifique regularmente o estado das interfaces de vácuo, juntas e aneis de vedação para garantir que não haja vazamentos. As peças desgastadas ou danificadas devem ser substituídas oportunamente para manter a estanqueidade do sistema. Por exemplo, o envelhecimento do círculo O pode resultar em baixas leituras de vácuo que precisam ser substituídas a cada seis meses.

Controle das condições de uso

1. Faixa de temperatura
   É usado estritamente dentro da faixa de temperatura especificada pelo equipamento (geralmente 0-50 ° C). Temperaturas muito altas podem levar à expansão térmica da película fina, e baixas podem desencadear a contração, o que afeta o valor de capacitor. Por exemplo, em processos de semicondutores, a temperatura ambiente deve ser estabilizada dentro de ± 1 ° C por meio de um termostato.

2. Controle de umidade
   Evite o uso em ambientes úmidos para evitar que os circuitos internos sejam curto-circuitados por umidade ou que as películas finas adsorem a umidade. Para uso em laboratórios com alta umidade, pode ser equipado com um desumidificador ou escolher um dispositivo resistente à umidade.

3. Requisitos de limpeza
   Em ambientes de alto vácuo ou ultra-alto vácuo, é necessário garantir a limpeza da área de instalação para evitar que partículas contaminam a película ou o eletrodo. Por exemplo, em experimentos de física de partículas, um pressômetro deve ser instalado após pré-pompagem de uma cavidade a vácuo até 10-4 Pa.

Manutenção e calibração regulares

1. Ciclo de calibração
   Dependendo da frequência de uso e das condições ambientais, a calibração é realizada a cada 3-6 meses usando um vácuometer padrão. Por exemplo, na linha de produção de revestimento fotovoltaico, é recomendado calibrar a cada três meses para garantir que a precisão da medição atenda aos requisitos do processo.

2. Limpeza e manutenção

   • Limpeza da carcaçaLimpe a carcaça com um pano limpo e macio, evitando solventes orgânicos ou agentes de limpeza corrosivos.
   • Limpeza da interfaceVerifique regularmente a interface de vácuo para remover a poluição de óleo ou partículas para evitar a poluição do filme ou afetar a vedação.
   • Inspeção de filmeSe o filme for reduzido por uso prolongado ou danos acidentais, ele deve ser substituído e recalibrado por um profissional.

3. Manutenção de componentes eletrônicos
   Limpe regularmente a poeira da placa de circuito para evitar que a acumulação de eletricidade estática cause curto-circuito. Verifique se a conexão do cabo está firme para evitar que o soltamento cause perda de sinal ou instabilidade.

IV. Especificações operacionais

1. Preaquecimento e Zero

   • Tempo de pré-aquecimentoPreaquecer por 15 a 30 minutos após a inicialização para que o equipamento chegue ao equilíbrio térmico e garanta a estabilidade da medição.
   • Operação ZeroApós a conclusão do pré-aquecimento, o ponto zero e a plenitude da linha de controle são ajustados usando um sinal padrão e o compensador de temperatura é ajustado, se necessário. Por exemplo, o vácuometer de película capacitiva 690A da MKS dos EUA precisa ser ajustado a zero através do botão Null do painel de controle eletrônico.

2. Evite uso excessivo
   Os vácuômetros de película capacitiva têm uma faixa de medição clara (por exemplo, 1 x 10-4 Pa a 1 x 10³ Pa), excedendo essa faixa pode causar danos à película ou um aumento do erro de medição. Para necessidades de amplo alcance, medições segmentadas podem ser feitas em combinação com outros tipos de vácuômetros, como vácuômetros de ionização catódica térmica.

3. Aumento/redução lenta da pressão
   Durante a medição, evite mudanças drásticas de pressão (por exemplo, abertura rápida da válvula) para evitar danos à película devido a mutações de tensão. Por exemplo, no processo de secagem a vácuo, a velocidade de bombeamento deve ser controlada ajustando a abertura da válvula.