Robôs atmosféricos

A série de máquinas atmosféricas de manipulação de wafers é usada principalmente no processo de processamento de semicondutores e é responsável pela transmissão de wafers entre diferentes estações no extremo atmosférico. Esta série de robôs atmosféricos usa um braço leve e rígido, um servomotor AC de alta precisão e alto desempenho e um redutor armônico para alcançar uma operação suave e de alta velocidade. O robô atende aos requisitos de lubrificação para peças móveis em um ambiente limpo, garantindo que o robô funcione suavemente a longo prazo e não afete o ambiente limpo. Utilizando o controlador robótico de rede da Shinsun para o controle, com estrutura compacta, configuração flexível e alto desempenho de controle, pode se adaptar a diferentes corpos robóticos, para alcançar a comunicação entre o controlador robótico, o controlador robótico e o equipamento de IC, facilitando a composição de diferentes sistemas de aplicação. Atualmente, a Shinmatsu já tem dois tipos de braço único e dois braços de quatro modelos, e pode ser personalizado de acordo com os requisitos do cliente, já tem aplicações do usuário e formou uma série de produtos para atender às necessidades de diferentes usuários.