Cromométrico de íons de hélio para análise de diclorosilano

O instrumento é equipado com um detector de ionização de hélio altamente sensível, com tecnologia de corte central da Huawei, e as válvulas de amostragem têm uma via de ar de proteção de sopro; Toda a máquina é projetada com caixa multi-coluna e equipada com sistema de correção automática da pressão de amostragem

Cromométrico de íons de hélio de diclorosilanoO instrumento é equipado com um detector de ionização de hélio altamente sensível, com tecnologia de corte central da Huawei, e as válvulas de amostragem têm uma via de ar de proteção de sopro; Toda a máquina é projetada com uma caixa de colunas múltiplas e equipada com um sistema de correção automática da pressão de amostra para garantir o volume de amostra de diferentes substâncias. Os produtos receberam os títulos de Projeto A de Transformação de Realizações de Alta Tecnologia de Xangai, Novos Produtos Principais de Xangai, Programa de Tocha de Xangai e Produtos de Instrumentos Científicos de 2009.

Nome do Projeto			Indicadores
Triclorhidrosilício (SiHCl)3Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 ≤			10
Conteúdo (monoclorosilano + cloreto de hidrogênio) (SiH)3Conteúdo de Cl + HCl ", em cloreto de hidrogênio (fracções de volume) / l0-6 ≤			50
Nitrogênio (N)2Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 ≤			1
Oxigênio + Argônio (O)2+ Ar) teor (fracções em volume) / l0-6 ≤			1
Conteúdo de monóxido de carbono (CO) / l0-6 ≤			1
Hidrogênio (H)2Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 ≤			10
Dióxido de carbono (CO)2Conteúdo (fracções em volume) / l0-6 ≤			1
Conteúdo total de hidrocarbonetos (THC) em metano (CH)4(Fração de volume) / l0-6 ≤			1
Metais e outros elementos	(Boro + alumínio) (B + Al) / (µg / kg) ≤		0.1
	(Fósforo + Arsénico) (P + As) / (µg / kg) ≤		0.3
	Conteúdo de gálio (Ga)/(µg/kg) ≤		0.1
	Antimónio (Sb) / (µg/kg) ≤		0.1
	Índio (In) / (µg/kg) ≤		0.1
	Conteúdo de cálcio (Ca)/(µg/kg) ≤		1
	teor de cromo (Cr)/(µg/kg) ≤		1
	Conteúdo de ferro (Fe)/(µg/kg) ≤		5
	Conteúdo de Potássio (K)/(µg/kg) ≤		1
	Conteúdo de sódio (Na)/(µg/kg) ≤		0.2
	Conteúdo de níquel (Ni)/(µg/kg) ≤		1
	Conteúdo de molybênio (Mo) / (µg / kg) ≤		0.1
	Conteúdo de manganês (Mn) / (µg / kg) ≤		0.2
	Conteúdo de cobre (Cu)/(µg/kg) ≤		0.2
	Conteúdo de cádmio (Cd) / (µg/kg) ≤		0.5
	Conteúdo de cobalto (Co)/(µg/kg) ≤		0.5
	Conteúdo de zinco (Zn)/(µg/kg) ≤		0.1