Sistema de medição de microoxigênio em ppm para processos de tratamento térmico de semicondutores

Sistema de medição de microoxigênio MESA alemãoProcesso de tratamento térmico dedicado à produção de semicondutores.

Sistema de medição de microoxigênio MESA alemãoÉ um sistema de precisão que extrai o gás para uma câmara de medição especialmente feita e, em seguida, realiza medições de microoxigênio a uma temperatura estável e controlada por meio de uma sonda Lambda, que pode emitir um sinal analógico correspondente ao teor de oxigênio em ppm.

Alcance: 0...5 / 10 / 100 / 10000 ppm

Precisão: ± 1% FS

Vantagens: Correção de quatro pontos

Saída: 0 (4)…20mA ou 0…10V

Origem: Alemanha (certificação ISO 9001:2015)

Indústria aplicável: Semicondutores

Principal cliente: Mattson

Sistema de medição de microoxigênio MESA alemãoAdotando o projeto da sonda de zircónio (sonda Lambda), pode ser mantida em uma medição constante de 600 ℃, não é afetada pela temperatura interna do forno, o estado de trabalho da sonda Lambda é estável, a vida útil é mais longa do que outros produtos semelhantes, a vida útil real pode ser de até 10 anos;

Sistema de medição de microoxigênio MESA alemãoCada sonda Lambda tem seu coeficiente de deriva de ponto zero K1 e seu coeficiente de compensação de temperatura K2, tornando o sinal de medição mais preciso para a saída de energia inteligente.O alcance e o tipo de saída são opcionais. Os resultados de medição também podem ser conectados ao computador superior por meio de interfaces como RS232/RS485 para permitir o controle centralizado.