Máquina de vácuo

A série de máquinas de vácuo de manipulação de wafers é usada principalmente no processo de processamento de semicondutores e é responsável pela transmissão de wafers entre diferentes estações no vácuo. Utilizando o controlador robótico de rede da Shinsun para o controle, com estrutura compacta, configuração flexível e alto desempenho de controle, pode se adaptar a diferentes corpos robóticos, para alcançar a comunicação entre o controlador robótico, o controlador robótico e o equipamento de IC, facilitando a composição de diferentes sistemas de aplicação. Atualmente, a Shinmatsu desenvolveu seis modelos de robôs atmosféricos de braço único, dois braços, tipo Skola, tipo sapo e outros, e pode ser personalizado de acordo com os requisitos do cliente, já há aplicações do usuário e formou uma série de produtos para atender às necessidades de diferentes usuários.